20%
+研发投入/营收
研发创新
>20%
+研发投入/营收
>56200
㎡生产研发基地
>3000
+专有技术(项)
>35%
+研发人员占比
>核心技术团队
专业团队
工艺开发
>专精ALD厂商
专业ALD
专业解决方案
>国内领先前瞻应用定制化
前瞻应用
定制开发
>国内唯一全场景Demo设备线
全场景Demo
量产经验
>智造创新
半导体设备规划产能
光伏设备规划产能
>



服务创新